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铬版的洗濯、修补、生存

铬版洗濯要领

  要领有许多,现在较有用的洗濯要领是:
(1) 铬版的部分干净要领: A、 起首运用净化气吹去铬版的外面杂物. B、 与一干净的全新无尘布醮DI火,对发明的部分脏点沿一个偏向停止擦拭。 C、 再取一干净的全新无尘布沾取经蒸馏的剖析纯酒精,沿DI火的擦拭偏向停止屡次的擦除。
(2) 铬版的整版洗濯要领: 配制3%-5%的NaOH溶液并过滤,将铬版完整起浸入NaOH溶液中(浸入前先要用无尘气枪吹静铬版外面,以防备玻璃屑类的异物),运用干净的全新无尘布对浸正在溶液中的铬版外面停止擦洗(也要求擦洗后头),NaOH溶液擦洗工夫弗成凌驾10分钟。
  正在运用NaOH溶液擦洗时需注重铬版的外面弗成取洗濯槽或其他物体打仗,以避免划伤铬版外面;运用NaOH溶液擦洗后,需用大量活动DI火冲刷,冲刷必需完整和完全,冲刷工夫弗成小于10分钟。冲刷中一样要注重制止致使铬版外面的划伤的身分。洗濯后的铬版需竖直寄存正在流动的位置,并运用含有经高效过滤净化气离别正在铬版的两个外面从左至右从上至下吹赶保存正在玻璃外面的DI火或用无尘箱烘干。别的,要注重制止运用气枪吹赶DI水时DI火 的反弹征象(反弹的DI火会形成铬版外面的火迹)。

铬版生存要领

  光罩为硬性掩膜版,为防备其变形,需求竖直寄存,为了包管掩膜版外面的清洁度,一样平常要生存正在1000级以上的无尘室内,温度:21±5℃,湿度要保持正在40-60%RH阁下。别的光罩质料基板是玻璃,若是需求对光罩生存,则需求连结正在枯燥的情况里,以防备玻璃泛起发霉征象,影响光学机能。
  为了尽量天制止划、碰伤,影响光罩寿命,运用时要轻拿轻放,暴光前必需对光搜检光罩外面是不是有硬性颗粒,正在暴光历程中也需求常常用净化后的紧缩气体或氮气消灭光罩外面的玻璃碎片,运用终了,应将光罩外面从新洗濯清洁,枯燥后再生存。
  因为铬版上的图形是金属铬(chrome),它的硬度异常大,和玻璃靠近,因而它的耐划伤机能异常下,一样平常硬度较小的物体不会对其形成划伤。但若是正在运用历程中存在玻璃屑,正在打仗状况下,铬版的外面便很容易遭到毁伤,严峻时会形成顶伤。

  铬版划伤一样平常分为三种,一种是铬层正在外力作用有一划伤印,但划伤处其实不透光,这类划伤对暴光其实不影响,不需要停止修补;另一种是划伤处的铬层透光,但玻璃基版没有毁伤,这类划伤较严峻,需求修补;另有一种严峻划伤,严厉来讲应当叫顶伤,它不只铬层遭到损坏,并且玻璃基版也遭到破坏,若是玻璃基版破坏处仅仅是正在线条下的玻璃基版,则可停止修补,但若是泛起非线条处的玻璃基版遭到毁伤的状况,则没法停止修补。

 
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