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中小尺寸光罩

重要应用领域:
  IC Bumping、IC载板、IC Lead Frame等相干行业;
  LED(PSS)、MEMS、SENSOR和ENCODER等邃密电子元器件行业。
Applications:
  IC Bumping、IC Substrate,IC Lead Frame and other related industry;
  LED(PSS)、MEMS、SENSOR、ENCODER and other fine components industry.

铬版精度 Chrome Mask Specifications (Standard Size:6inch Quartz)

精度 / 级别
Items / Class
最高精度
Grade 1
高精度
Grade 2
中精度
Grade 3
一样平常精度
Grade 4
最小线宽/线缝
Min.Line/Space Width
0.75μm/0.75μm 3μm/3μm 5μm/5μm 10μm/10μm
线条精度
CD Control
±0.1μm ±0.3μm ±0.5μm ±1.0μm
总长精度
Total Pitch Accuracy
±0.25μm ±0.5μm ±0.75μm ±1.0μm
图形位置精度
Registration Accuracy
±0.25μm ±0.5μm ±0.75μm ±1.0μm
套合精度
Overlay Accuracy
±0.25μm ±0.5μm ±0.75μm ±1.0μm
垂直精度
Orthogonality
±0.5μrad ±0.75μrad ±1.0μrad ±2.0μrad

铬版质料 Substrate(Photomask blank phate)

质料 Material Soda Lime Glass、Quartz
通例尺寸Normal Size 3006,4009,5009,6012,6025,7012,9012,12"x12",14"x14"
厚度 Thickness 1.5±0.2mm,2.3±0.2mm ,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm
6.35±0.2mm (QZ)
铬膜 Film Type Low Reflectance Chrome
光学密度
Optical Density(λ=450nm)
Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3
反射率
Reflectivity(λ=436nm)
Between Plates10±5% In Plate±2%

 
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